j急!关于抽真空中的主阀,前级阀,旁路阀,扩散泵,机械泵的作用及抽的哪 部分的真空?求解扩散泵与机器的连接方法!

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/09/21 06:21:30
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j急!关于抽真空中的主阀,前级阀,旁路阀,扩散泵,机械泵的作用及抽的哪 部分的真空?
求解扩散泵与机器的连接方法!

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从真空室出来,先一个主阀,再到扩散泵,这是高真空的抽气管路(在主阀与扩散泵之间最好有个冷凝器之类的东西,因扩散泵中的油比较容易返油).粗抽的话,是从真空室出来到粗抽阀门,到机械泵.扩散泵与机械泵之间用的是前级阀.